ウエハレベルSRAM高速評価DFT技術
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概要
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アッセンブリ前のウエハテストにおいて、高価な高速テスタを必要とせずにSRAM高速評価を可能にするDFT(Design For Test)技術を提案する。新規に搭載したゲイン抑制型電圧制御発振器(VCO)は、チップ内部で安定した高周波クロックを生成しSRAMを高速動作させる。また高速な内部データ出力を低速な外部クロックに同期して出力するストローブ制御回路を搭載する。これらの技術を用いることで、安価な低速テスタでも高速のフェイルビットマップ取得が可能になる。その結果アッセンブリ前のヒューズブローにおいて、遅いセルの置換や内部タイミングの調整が可能になり、歩留まりや性能の向上が期待できる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-01-23
著者
-
川澄 篤
株式会社東芝
-
川澄 篤
東芝セミコンダクター社
-
大塚 伸朗
(株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター
-
平林 修
株式会社東芝
-
鈴木 東
株式会社東芝
-
武山 泰久
株式会社東芝
-
櫛田 桂一
株式会社東芝
-
矢部 友章
株式会社東芝
-
大塚 伸朗
(株)東芝 Soc研究開発センター
-
大塚 信朗
東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所
-
矢部 友章
東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所
-
矢部 友章
(株)東芝半導体デバイス技術研究所
-
櫛田 桂一
(株)東芝 SoC研究開発センター
-
平林 修
(株)東芝 SoC研究開発センター
-
武山 泰久
(株)東芝 SoC研究開発センター
-
鈴木 東
(株)東芝セミコンダクター社
-
川澄 篤
(株)東芝セミコンダクター社
-
東畑 晃史
東芝マイクロエレクトロニクス株式会社
-
武山 泰久
株式会社東芝セミコンダクター社
-
川澄 篤
株式会社東芝セミコンダクター社
-
鈴木 東
株式会社東芝セミコンダクター社
-
櫛田 桂一
株式会社東芝セミコンダクター社
-
矢部 友章
株式会社東芝セミコンダクター社
-
平林 修
株式会社東芝セミコンダクター社
-
矢部 友章
(株)東芝セミコンダクター社
-
川澄 篤
(株)東芝セミコンダクター&ストレージ社半導体研究開発センター
-
矢部 友章
(株)東芝セミコンダクター&ストレージ社アナログ・イメージングIC事業部
-
平林 修
(株)東芝セミコンダクター&ストレージ社ロジックLSI事業部
-
川澄 篤
(株)東芝
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