GaN系MISダイオードにおける絶縁膜及び界面の評価

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概要

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• 2011-11-10

著者

• 江川 孝志

  名古屋工業大学

• 江川 孝志

  名古屋工業大学工学部附属極微構造デバイス研究センター

• Egawa Takashi

  Pharmaceutical Research Center Meiji Seika Kaisha Ltd.

• Egawa Takashi

  Department Of Neuropharmacology Faculty Of Pharmaceutical Sciences Fukuoka University

• 久保 俊晴

  名古屋工業大学極微デバイス機能システム研究センター

• 岩田 康宏

  名古屋工業大学極微デバイス機能システム研究センター

• 岩田 康宏

  名古屋工業大学 極微デバイス機能システム研究センター

• 久保 俊晴

  名古屋工業大学 極微デバイス機能システム研究センター

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