ドーピングしたa-Si薄膜の金属誘起横方向固相結晶化特性
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2005-04-15
著者
-
浅野 種正
九州工業大学 マイクロ化総合技術センター
-
中川 豪
九州大学大学院システム情報科学研究院
-
中川 豪
九州工業大学マイクロ化総合技術センター
-
Asano Tanemasa
Center For Microelectronics Systems Kyushu Institute Of Technology
-
柴田 憲利
九州工業大学マイクロ化総合技術センター
-
Asano Tanemasa
Center For Microelectrortic Systems Kyushu Institute Of Technology
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