スタンプ法による有機材料の構造形成と電界放出型微小電子源への応用

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概要

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有機材料の特徴を活かした、新しい電子源構造の形成法であるスタンプ法における最適な材料およびプロセス条件について述べる。スタンプ法とは、あらかじめ成形した型を有機材料に対し、加圧することにより型の形状を有機材料に転写する技術である。加圧は、大気中で試料を加熱して行った。有機材料としてはノボラック樹脂を主成分とするフォトレジストおよびポリイミドを用いた。ポリイミドのように熱耐性が高く、温度に対して機械的物性値の変化が少ない材料がスタンプ法に適していることが分かった。また、スタンプ面全体に均一なエミッタ構造を転写するためには、型および有機材料表面に「ガス抜き」のための構造を形成する必要があることが分かった。この方法によりエミッタ構造を形成した後、イオンビーム改質して導電性を発現させたエミッタよりμAオーダーの電界放出電流が得られることを確認した。
社団法人電子情報通信学会の論文
1999-12-13

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