絶縁体でバインドされたパラジウム微粒子膜からの電界電子放出
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概要
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新しい電子源材料として絶縁体にバインドされた金属微粒子膜を提案する。パラジウム(Pd)微粒子膜作製法と電界電子放出について述べる。Pd微粒子膜はPd微粒子を塗布型ガラス(SOG)に混入させた後、スピンコート法およびスキージング法を用いシリコン基板上に作製した。スキージング法での製膜はスピンコート法のものに比べ膜内部の空洞が少なく、表面の平らな膜が作製できることがわかった。Pd微粒子膜からの電界電子放出のしきい電圧はμAオーダーの電子放出電流を流すことによるエージング効果で急激に低下した。エージング後しきい電圧の変動は見られず、放出電流の変動率は10%以内であることを確認した。Pd微粒子の埋め込みによりパターニングされた電子源をスキージング法を用いて作製し、二極測定において700VでμAオーダーの放出電流を確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-12-07
著者
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