インクジェット法による高精度配列電子源アレイの作製(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
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概要
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インクジェット法による液滴の高精度配列制御のために,高精度の位置決め可能なインクジェットシステムを開発した.開発したインクジェットシステムでのアライメント精度は約10μmであることがわかった.液滴のアライメント精度および高精細パターンを実現するためには,液滴および基板の表面自由エネルギーに応じノズルー基板間隔を最適化する必要があることがわかった.液滴のさらなる高精度・高精細パターン作製を,基板の表面自由エネルギーを部分的に変化させることで実現した.基板上への液滴の高精度配列のためには,ステージの位置決め精度のみならずインク吐出のばらつきや基板表面自由エネルギーの制御が必要であることがわかった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-12-09
著者
-
石田 雄二
北九州産業学術推進機構
-
浅野 種正
九州工業大学 マイクロ化総合技術センター
-
浅野 種正
九工大マイクロ化センター
-
浅野 種正
九州大学大学院システム情報科学研究院
-
石田 雄二
九州大学大学院システム情報科学研究院
-
浅野 種正
九州工大
-
馬湯 昭好
九州工業大学マイクロ化総合技術センター
-
吐合 一徳
北九州産業学術推進機構
-
Asano Tanemasa
Center For Microelectronics Systems Kyushu Institute Of Technology
-
Asano Tanemasa
Center For Microelectrortic Systems Kyushu Institute Of Technology
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