Si/SiGeヘテロ接合コレクターによるトレンチIGBTの低損失化

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概要

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• 2002-11-29

著者

• 浅野 種正

  九州工業大学 マイクロ化総合技術センター

• 工藤 嗣友

  九州工業大学 マイクロ化総合技術センター

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