SC-8-7 金属インプリント法による結晶粒位置制御と薄膜トランジスタへの応用

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2002-03-07

著者

• 浅野 種正

  九州工業大学 マイクロ化総合技術センター

• 牧平 憲治

  九州工業大学マイクロ化総合技術センター

• 牧平 憲治

  関西大

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