金属インプリント法による多結晶シリコンの核発生制御

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 2002-05-10

著者

• 浅野 種正

  九州工業大学 マイクロ化総合技術センター

• 牧平 憲治

  九州工業大学マイクロ化総合技術センター

• 牧平 憲治

  関西大

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