金属誘起横方向結晶化のNi供給量制限下における結晶成長特性
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概要
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金属誘起固相結晶化において金属の量を制限した場合の結晶成長特性について検討を行った。Niの供給量を制限することで成長特性のパターン依存性、アニール温度依存性が顕著に現れることがわかった。成長特性はアニール温度の低下に伴い、連続な成長端を持つ成長から樹状・針状に結晶の形態が変化する。そして成長速度はアニール温度が高い場合はNiの拡散が支配的であることを示唆する結果が得られた。450℃のアニールによって長さ約10μm、幅100nmの針状Si結晶が得られた。Ni供給パターンの依存性はアニール温度が高い場合にはNiの濃度分布によるものであり、低い場合には結晶核形成頻度がNiパターン依存性を持つことがわかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-04-09
著者
-
浅野 種正
九州工業大学 マイクロ化総合技術センター
-
牧平 憲治
九州工業大学マイクロ化総合技術センター
-
野崎 洋之
九州工業大学マイクロ化総合技術センター
-
宮坂 光敏
セイコーエプソン(株)テクノロジープラットフォーム研究所
-
牧平 憲治
関西大
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