窒化物半導体結晶のエピ成長と欠陥発生

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概要

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• 日本表面科学会の論文
• 2000-03-10

著者

• 平松 和政

  三重大学工学部電気電子工学科

• 桑野 範之

  九州大学先端科学技術共同研究センター

• 沖 憲典

  九州大学大学院総合理工学研究科院

• 平松 和政

  三重大 工

• 沖 憲典

  九州大学 大学院総合理工学研究院

• Oki Kensuke

  Department Of Materials Science And Technology Graduate School Of Engineering Sciences Kyusyu Univer

• 沖 憲典

  九州大学総理工

• 平松 和政

  三重大学工学部電子電気工学科

• 平松 和政

  三重大

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