Si基板上のMOVPE成長Al_xGa_<1-x>N結晶のモルフォロジー

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1986-07-10

著者

• 赤崎 勇

  名城大学理工学研究科

• 平松 和政

  三重大学工学部電気電子工学科

• 赤崎 勇

  名大・工

• 伊藤 健治

  名古屋大学工学部

• 沢木 宣彦

  名大・工学部

• 小出 康夫

  名古屋大学工学部電子工学科

• 小出 康夫

  独立行政法人物質・材料研究機構物質研究所

• 平松 和政

  三重大学大学院工学研究科電気電子工学専攻

• 平松 和政

  名大・工

• 平松 和政

  三重大 工

• 小出 康夫

  名大・工

• 伊藤 健治

  名大・工

• 小出 康夫

  京都大学材料工学

• 澤木 宣彦

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• 沢木 宣彦

  名大・工

• 平松 和政

  三重大

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