顕微ラマン分光法によるNITRIDE-LEDの微細領域での温度分布解析(結晶成長, 評価技術及びデバイス(化合物, Si, SiGe, その他電子材料))

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概要

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• 本研究では、III族窒化物半導体LED動作時の内部微細領域における温度分布を、顕微ラマン分光法により測定した。その結果、LEDの面内において温度分布が存在することが確認され、LEDのp電極領域が高温であることが確認された。また、本測定の優位な点として、深さ方向に対する測定も可能であり、半導体デバイスの3次元的な熱解析が可能であることが示唆される結果が得られた。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2005-05-20

著者

• 岩谷 素顕

  名城大学理工学研究科

• 上山 智

  名城大学理工学研究科

• 天野 浩

  名城大学理工学研究科

• 赤崎 勇

  名城大学理工学研究科

• 三島 俊介

  名城大学理工学研究科、21世紀COEプログラムナノファクトリー

• 浅井 利浩

  名城大学理工学研究科、21世紀COEプログラムナノファクトリー

• 春日井 秀紀

  名城大学理工学研究科、21世紀COEプログラムナノファクトリー

• 本塩 彰

  名城大学理工学研究科、21世紀COEプログラムナノファクトリー

• 三宅 泰人

  名城大学理工学研究科、21世紀COEプログラムナノファクトリー

• 飯田 一喜

  名城大学理工学研究科、21世紀COEプログラムナノファクトリー

• 川島 毅士

  名城大学理工学研究科、21世紀COEプログラムナノファクトリー

• 若山 雅文

  システム技研株式会社

• 川島 毅士

  名城大学大学院 理工学研究科・21世紀coeナノファクトリー

• 天野 浩

  名城大

• 本塩 彰

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• 春日井 秀紀

  名城大学大学院理工学研究科、21世紀coe"ナノファクトリー

• 春日井 秀紀

  名城大 大学院理工学研究科

• 三宅 泰人

  名城大 大学院理工学研究科

• 赤崎 勇

  名城大学理工学部電機電子工学科

• 春日井 秀紀

  パナソニック株式会社セミコンダクター社半導体デバイス研究センター

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