反射電極を用いた紫外発光素子の光取り出し効率改善(発光デバイス,結晶成長,評価技術及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))

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概要

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• AlGaN系紫外発光素子の高効率化には光取り出し効率の改善が重要である。本研究では、スパッタリングによって成膜したITO膜の高温アニールによる吸収端の短波長化と、それをp型コンタクト層として用いたAl系紫外反射電極について検討した。この反射電極を発光波長350nmの紫外発光素子に用いることによって動作電圧の上昇を抑えつつ、光出力を1.2倍程度向上させることに成功した。

• 2011-05-12

著者

• 竹田 健一郎

  名城大学理工学研究科

• 岩谷 素顕

  名城大学理工学研究科

• 上山 智

  名城大学理工学研究科

• 赤崎 勇

  名城大学理工学研究科

• 竹内 哲也

  名城大学理工学部

• 竹内 哲也

  名城大学理工学部電気電子工学科

• 竹田 健一郎

  名城大・理工

• 永田 賢吾

  名城大・理工

• 天野 浩

  名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻

• 竹田 健一郎

  名城大学

• 赤崎 勇

  名城大学理工学部電機電子工学科

• 竹田 健一郎

  名城大

• 竹原 孝祐

  名城大学理工学研究科

• 永田 賢吾

  名城大学理工学研究科

• 青島 宏樹

  名城大学理工学研究科

• 伊藤 駿

  名城大学理工学研究科

• 伊藤 駿

  名城大・理工

• 青島 宏樹

  名城大・理工

• 竹原 孝祐

  名城大・理工

• 天野 浩

  名古屋大学大学院工学研究科赤崎記念研究センター

• 岩谷 素顕

  名城大学・理工学部

• 天野 浩

  名古屋大学 大学院工学研究科 電子情報システム専攻 赤崎記念研究センター

• 天野 浩

  名古屋大学

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