AlN基板上のAlGaNチャネルHEMT

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概要

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• 2010-01-16

著者

• 竹田 健一郎

  名城大学理工学研究科

• 天野 浩

  名城大学理工学研究科

• 中幡 英章

  住友電気工業株式会社 半導体技術研究所

• 秋田 勝史

  住友電気工業株式会社

• 橋本 信

  住友電気工業株式会社

• 中幡 英章

  住友電気工業(株)伊丹研究所

• 田辺 達也

  住友電気工業

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