サファイア基板上III族窒化物半導体成長における低温堆積層の効果と機構

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 1999-07-10

著者

• 天野 浩

  名城大学理工学研究科

• 赤崎 勇

  名城大学理工学研究科

• 赤崎 勇

  名城大学理工学研究科電気電子・情報・材料工学専攻

• 赤崎 勇

  名城大・理工

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