X線CTR散乱法およびX線反射率測定で見たサファイア基板上の窒化物成長過程

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概要

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• 日本表面科学会の論文
• 2000-03-10

著者

• 天野 浩

  名城大学理工学研究科

• 赤崎 勇

  名城大学理工学研究科

• 竹田 美和

  名古屋大学工学研究科結晶材料工学専攻

• 竹田 美和

  名古屋大学

• 竹内 哲也

  名城大学理工学部

• 竹内 哲也

  名城大学理工学部電気電子工学科

• 赤崎 勇

  名城大・理工

• 田渕 雅夫

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• 田淵 雅夫

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