SC-7-8 窒化物系半導体用MOCVD装置
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-09-07
著者
-
徳永 裕樹
大陽日酸株式会社電子機材事業本部
-
山口 晃
大陽日酸株式会社電子機材事業本部
-
松本 功
大陽日酸イー・エム・シー株式会社
-
梅野 正義
名古屋工業大学
-
松本 功
日本酸素(株)つくば研究所
-
梅野 正義
名古屋工業大学工学部電気情報工学科 極微構造デバイス研究センター
-
立花 明知
京都大学
-
阿久津 仲男
大陽日酸株式会社化合物事業部
-
徳永 裕樹
日本酸素(株)つくば研究所電材開発部
-
阿久津 仲男
日本酸素(株)産ガス電子機材事業部
-
山口 晃
日本酸素(株)産ガス電子機材事業部
-
日高 淳一
日本酸素(株)つくば研究所電材開発部
-
立花 明知
京都大学工学部機械物理
-
日高 淳一
日本酸素(株)
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