大気圧MOVPE成長AlGaNにおける気相反応とその量子化学的検討
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概要
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大気圧成長MOVPEにおけるTMAとNH_3の気相反応はAlの取り込みのみならずGaの取り込みをも阻害する。この機構を解明するためにTMA-NH_3の反応について量子化学的計算を検討した。計算結果によるとTMA-NH_3の組み合わせでは他の組み合わせに比べてメチル脱離反応の障壁が低く、ポリマー形成につながる中間体が形成されやすいことが分かった。報告ではモデルのベースとなる実験結果を中心に、考えられる反応過程について紹介する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-11-06
著者
-
徳永 裕樹
大陽日酸株式会社電子機材事業本部
-
松本 功
大陽日酸イー・エム・シー株式会社
-
松本 功
日本酸素(株)つくば研究所
-
立花 明知
京都大学
-
阿久津 仲男
大陽日酸株式会社化合物事業部
-
徳永 裕樹
日本酸素(株)つくば研究所電材開発部
-
阿久津 仲男
日本酸素(株)産ガス電子機材事業部
-
立花 明知
京都大学工学部機械物理
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