シリコン基板上GaNパワーデバイスエピタキシャル成長用有機金属気相成長装置の現状と課題 (小特集 パワー半導体結晶成長)

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概要

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著者

• 山本 淳

  大陽日酸イー・エム・シー株式会社

• 生方 映徳

  大陽日酸株式会社電子機材事業本部

• 松本 功

  大陽日酸イー・エム・シー株式会社

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