大口径Si基板(8インチ&6インチ)上のAlN、AlGaNの高速成長 (レーザ・量子エレクトロニクス)
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概要
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- 2012-11-29
著者
-
矢野 良樹
大陽日酸株式会社電子機材事業本部
-
徳永 裕樹
大陽日酸株式会社電子機材事業本部
-
生方 映徳
大陽日酸株式会社電子機材事業本部
-
矢野 良樹
大陽日酸(株)つくば研究所電子機材事業部先端技術開発部
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