徳永 裕樹 | 大陽日酸株式会社電子機材事業本部
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概要
関連著者
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徳永 裕樹
大陽日酸株式会社電子機材事業本部
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生方 映徳
大陽日酸株式会社電子機材事業本部
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大陽日酸株式会社電子機材事業本部
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大陽日酸株式会社電子機材事業本部
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日本酸素株式会社化合物プロジェクト部
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大陽日酸イー・エム・シー(株)
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内山 康右
大陽日酸イー・エム・シー(株)
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伴 雄三郎
大陽日酸イー・エム・シー(株)
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大陽日酸株式会社電子機材事業本部
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山口 晃
日本酸素(株)産ガス電子機材事業部
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梅野 正義
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江川 孝志
名古屋工業大学
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松本 功
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立花 明知
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梅野 正義
名古屋工業大学工学部電気情報工学科 極微構造デバイス研究センター
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日高 淳一
日本酸素(株)つくば研究所電材開発部
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生方 映徳
日本酸素(株)技術・開発本部つくば研究所
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日高 淳一
日本酸素(株)
著作論文
- 4inch×11枚大型MOVPE装置(UR25K)を用いた窒化ガリウムの高速成長(窒化物及び混晶半導体デバイス)
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- InGaN量子井戸構造における水素雰囲気の影響(進展する窒化物半導体光・電子デバイスの現状,及び一般)
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- 大気圧MOVPE成長AlGaNにおける気相反応とその量子化学的検討
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- p型GaNの成長圧力依存性(化合物混晶半導体デバイス・材料(含むSiGe,ワイドギャップ半導体),一般)
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- 大型量産GaN用MOCVD装置の開発
- 大口径Si基板(8インチ&6インチ)上のAlN、AlGaNの高速成長 (レーザ・量子エレクトロニクス)
- 大口径Si基板(8インチ&6インチ)上のAlN、AlGaNの高速成長(窒化物及び混晶半導体デバイス,及び一般)
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