大型量産GaN用MOCVD装置の開発

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概要

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• 大陽日酸技術本部技報編集事務局の論文

著者

• 徳永 裕樹

  大陽日酸株式会社電子機材事業本部

• 福田 靖

  大陽日酸株式会社電子機材事業本部

• 生方 映徳

  大陽日酸株式会社電子機材事業本部

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