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大陽日酸技術本部技報編集事務局 | 論文
- 粗アルゴン塔へのフィードガス中の窒素モニターの開発
- 半導体材料ガス中微量水分の分光測定法
- HfO2系High-k材料向けのin-situチャンバークリーニング技術の開発
- 半導体材料ガス中のRoHS指令規制物質の分析手法開発
- 配管自動溶接部のビード蛇行現象に及ぼすシールドガスの影響
- 高純度HBr容器に関するオージェ電子スペクトロメトリーを用いた金属酸化表面の調査と水分発生メカニズムに関する研究
- 省エネ型PSA式窒素ガス発生装置の制御系開発
- 新アイス・ブラスト技術の開発
- 新規プラズマCVDチャンバークリーニングガスとしてのC3F6の性能評価
- 次世代Siデバイス向けPECVD低誘電率層間絶縁膜用プレカーサーの開発
- 次世代SiOCH系低誘電率膜向けプリカーサーの開発--Si-C2H4-Siネットワークの導入
- 低純度酸素製造プロセスにおけるHIDiC利用技術
- 冷中性子源用極低温水素循環システム
- 安定同位体製品の精密分析技術
- 高圧下におけるメタン-酸素同軸乱流非予混合火炎の流動場特性に関する研究
- 塩素ガスを用いたGaN-MOCVD装置反応炉部品の洗浄装置(CLEANDEX-100)の開発
- 名古屋工業大学・有機金属気相成長技術(大陽日酸)寄附研究部門の研究活動
- DVScPを用いた次世代多層配線向け新規CuバリアSiC成膜プロセス技術
- 大型量産GaN用MOCVD装置の開発
- Linde社製新型ヘリウム液化機シリーズとその運転制御