次世代SiOCH系低誘電率膜向けプリカーサーの開発--Si-C2H4-Siネットワークの導入

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概要

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• 大陽日酸技術本部技報編集事務局の論文

著者

• 田島 暢夫

  お茶の水女子大学理学部

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