シリコン基板上GaNパワーデバイスエピタキシャル成長用有機金属気相成長装置の現状と課題
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概要
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- 2011-06-20
著者
-
矢野 良樹
大陽日酸株式会社電子機材事業本部
-
池永 和正
大陽日酸株式会社電子機材事業本部
-
山本 淳
大陽日酸イー・エム・シー株式会社
-
田渕 俊也
大陽日酸株式会社電子機材事業本部
-
内山 康右
大陽日酸イー・エム・シー株式会社
-
山口 晃
大陽日酸株式会社電子機材事業本部
-
生方 映徳
大陽日酸株式会社電子機材事業本部
-
伴 雄三郎
大陽日酸イー・エム・シー株式会社
-
松本 功
大陽日酸イー・エム・シー株式会社
-
山本 淳
大陽日酸イー・エム・シー(株)
-
池永 和正
大陽日酸(株)つくば研究所電子機材事業部先端技術開発部
-
田渕 俊也
大陽日酸(株)つくば研究所電子機材事業部先端技術開発部
-
山口 晃
大陽日酸(株)京浜事業所化合物事業部
-
松本 功
大陽日酸イー・エム・シー(株)
-
生方 映徳
大陽日酸(株)つくば研究所電子機材事業部先端技術開発部
-
矢野 良樹
大陽日酸(株)つくば研究所電子機材事業部先端技術開発部
-
内藤 一樹
大陽日酸(株)つくば研究所電子機材事業部先端技術開発部
-
内山 康祐
大陽日酸イー・エム・シー(株)
-
伴 雄三郎
大陽日酸イー・エム・シー(株)
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