酸化物薄膜のCVD技術 : CVD原料としての金属錯体とその供給技術
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概要
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- 1995-09-08
著者
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田渕 俊也
大陽日酸株式会社電子機材事業本部
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小林 一三
日本酸素株式会社つくば研究所
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小林 一三
日本酸素株式会社 電子機材事業本部
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田渕 俊也
日本酸素株式会社 電子機材事業本部
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津山 朝子
日本酸素株式会社 電子機材事業本部
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