MOCVD 法による LiNbO_3 薄膜の合成
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概要
著者
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小林 一三
日本酸素株式会社つくば研究所
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富永 浩二
中部大学工学部工業化学科
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岡田 勝
中部大 工
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高木 威
中部大学工学部工業化学科
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岡田 勝
中部大学工学部工業化学科
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小林 一三
日本酸素株式会社 電子機材事業本部
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岡田 勝
中部大学工学部 応用化学科
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