大気圧成長GaN系MOVPE成長技術の開発
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概要
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- 2003-03-06
著者
-
立花 明知
京大工
-
江川 孝志
名古屋工業大学極微構造デバイス研究センター
-
徳永 裕樹
大陽日酸株式会社電子機材事業本部
-
山口 晃
大陽日酸株式会社電子機材事業本部
-
生方 映徳
大陽日酸株式会社電子機材事業本部
-
松本 功
大陽日酸イー・エム・シー株式会社
-
生方 映徳
日本酸素株式会社化合物プロジェクト部
-
徳永 裕樹
日本酸素株式会社化合物プロジェクト部
-
阿久津 仲男
日本酸素株式会社化合物プロジェクト部
-
松本 功
日本酸素株式会社化合物プロジェクト部
-
山口 晃
日本酸素株式会社化合物プロジェクト部
-
江川 孝志
名古屋工業大学
-
松本 功
日本酸素
-
立花 明知
京都大学大学院工学研究科機械物理工学専攻
-
立花 明知
京都大学
-
阿久津 仲男
大陽日酸株式会社化合物事業部
-
徳永 裕樹
日本酸素(株)つくば研究所電材開発部
-
阿久津 仲男
日本酸素(株)産ガス電子機材事業部
-
山口 晃
日本酸素(株)産ガス電子機材事業部
-
生方 映徳
日本酸素(株)技術・開発本部つくば研究所
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