量子化学計算によるGeH_4分解挙動解析

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概要

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• 2005-01-20

著者

• 立花 明知

  京大工

• 鈴木 克昌

  大陽日酸株式会社

• 相良 文彦

  京都大学大学院工学研究科

• 石原 良夫

  日本酸素(株)つくば研究所

• 中村 康一

  京都大学大学院工学研究科機械物理工学専攻

• 井蓋 直臣

  京都大学大学院工学研究科機械物理工学専攻

• 立花 明知

  京都大学大学院工学研究科機械物理工学専攻

• 鈴木 克昌

  日本酸素(株)電子機材営業本部マーケティング統括部

• 中村 康一

  京大院工

• 相良 文彦

  京都大学大学院工学研究科機械物理工学専攻

• 立花 明知

  京都大学

• 立花 明知

  京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻

• 井蓋 直臣

  京大院工

• 石原 良夫

  大陽日酸株式会社電子機材事業本部事業戦略推進部

• 石原 良夫

  日本酸素(株)

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