化学気相成長(CVD)プロセスの量子化学

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 1996-12-10

著者

• 立花 明知

  京都大学大学院工学研究科機械物理工学専攻

• 立花 明知

  京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻

• 立花 明知

  京都大学大学院工学研究科分子工学専攻

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