福田 靖 | 大陽日酸株式会社電子機材事業本部

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概要

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• 徳永 裕樹

  大陽日酸株式会社電子機材事業本部

• 福田 靖

  大陽日酸株式会社電子機材事業本部

• 生方 映徳

  大陽日酸株式会社電子機材事業本部

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• 池永 和正

  大陽日酸株式会社電子機材事業本部

• 山本 淳

  大陽日酸イー・エム・シー株式会社

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  大陽日酸株式会社電子機材事業本部

• 内山 康右

  大陽日酸イー・エム・シー株式会社

• 山口 晃

  大陽日酸株式会社電子機材事業本部

• 原田 康博

  大陽日酸イー・エム・シー株式会社

• 伴 雄三郎

  大陽日酸イー・エム・シー株式会社

• 松本 功

  大陽日酸イー・エム・シー株式会社

• 山崎 利明

  大陽日酸株式会社電子機材事業本部

• 山本 淳

  大陽日酸イー・エム・シー(株)

• 松本 功

  大陽日酸イー・エム・シー(株)

• 内山 康右

  大陽日酸イー・エム・シー(株)

• 矢野 良樹

  大陽日酸(株)つくば研究所電子機材事業部先端技術開発部

• 伴 雄三郎

  大陽日酸イー・エム・シー(株)

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著作論文

• 4inch×11枚大型MOVPE装置(UR25K)を用いた窒化ガリウムの高速成長(窒化物及び混晶半導体デバイス)
• 4 inch×11枚大型MOVPE装置(UR25K)を用いた窒化ガリウムの高速成長(窒化物及び混晶半導体デバイス)
• 4 inch×11枚大型MOVPE装置(UR25K)を用いた窒化ガリウムの高速成長(窒化物及び混晶半導体デバイス)
• 大型量産GaN用MOCVD装置の開発

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