常圧MOCVD法によるGaN/AlGaN多層膜反射鏡の作製

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概要

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• 1999-01-01

著者

• 石川 博康

  名古屋工業大学極微構造デバイス研究センター

• 江川 孝志

  名古屋工業大学極微構造デバイス研究センター

• 神保 孝志

  名古屋工業大学極微構造デバイス研究センター

• 石川 博康

  名古屋工業大学工学研究科機能工学専攻:名古屋工業大学工学研究科都市循環システム工学専攻

• 梅野 正義

  名古屋工業大学

• 江川 孝志

  名古屋工業大学

• 神保 孝志

  名古屋工業大学

• 中田 尚幸

  名古屋工業大学電気情報工学科

• Zhao Guang-yuan

  Research Center For Micro-structure Devices Nagoya Institute Of Technology

• 神保 孝志

  名古屋工業大学極微デバイス機能システム研究センター

• 趙 廣元

  名古屋工業大学・ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー

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