ハイドープSiエピタキシャル基板の精密加工技術
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2001-09-01
著者
-
渡邉 純二
熊大院
-
梅野 正義
名古屋工業大学
-
児玉 一志
フジミインコーポレーテッド(株)
-
中嶋 堅志郎
名工大
-
兪 国林
名工大
-
梅野 正義
名工大
-
神保 孝志
名工大
-
江瀧 修
名工大
-
泉 勝俊
大阪府大
-
児玉 一志
フジミインコーポレテッド
-
神保 孝志
名古屋工業大学極微デバイス機能システム研究センター
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