超高周波振動子用薄型水晶素板の超精密加工技術
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概要
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- 2000-09-01
著者
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大渕 慶史
熊本大
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大渕 慶史
熊本大学
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渡邉 純二
熊本大学大学院
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渡邉 純二
熊大院
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峠 睦
熊大工
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上田 昇
熊大地共セ
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大渕 慶史
熊大工
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緒方 信博
熊大院
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国領 真梨子
熊大工
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上田 昇
熊本大地共センター
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