SiC半導体単結晶の研磨特性
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概要
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- 1999-03-05
著者
-
渡邉 純二
熊本大学大学院
-
江龍 修
名工大
-
山本 幸治
(株)マルトー
-
山本 幸治
チューブシステムズ
-
江龍 修
名古屋工業大学
-
渡邉 純二
熊大工
-
中嶋 堅志郎
名工大
-
兪 国林
名工大
-
佐藤 幸介
熊大工
-
中嶋 堅志郎
名古屋工大工学部
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