CMP特性に及ぼす弾性アシストパッド硬度の影響

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概要

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• 砥粒加工学会の論文
• 2000-10-01

著者

• 渡邉 純二

  熊本大学大学院

• 高橋 渉

  住友金属工業(株)

• 高橋 渉

  住友金属工業(株)未来技術研究所

• 佐口 明彦

  住友金属工業(株)

• 小川 正裕

  住友金属工業(株) システム事業部

• 高橋 渉

  住友金属工業

• 渡邉 純二

  熊本大学 大学院自然科学研究科

• 小川 正裕

  住友金属工業(株)

• 渡邉 純二

  熊本大学 イノベーション推進機構

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