Si熱酸化膜のCMP機構とスラリー特性
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概要
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- 1997-10-01
著者
-
高橋 渉
住友金属工業(株)
-
高橋 渉
住友金属工業(株)未来技術研究所
-
佐口 明彦
住友金属工業(株)
-
高橋 渉
住友金属工業
-
渡邊 純二
名古屋工業大学
-
兪 国林
名古屋工業大学
-
平野 稔
豊田工機(株)
-
児玉 一志
フジミインコーポレーテッド(株)
-
兪 国林
名工大
-
児玉 一志
フジミインコーポレテッド
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