佐口 明彦 | 住友金属工業(株)

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概要

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関連著者

• 佐口 明彦

  住友金属工業(株)

• 高橋 渉

  住友金属工業(株)

• 高橋 渉

  住友金属工業(株)未来技術研究所

• 高橋 渉

  住友金属工業

• 高橋 渉

  住友金属工業株式会社未来技術研究所新材料研究部主任研究員

• 渡邉 純二

  熊本大学大学院

• 石垣 尚幸

  住友特殊金属(株)研究開発部

• 金子 裕治

  住友特殊金属(株)開発本部

• 香月 太

  住友金属工業(株)総合技術研究所 企画業務部

• 石垣 尚幸

  住友特殊金属

• 渡邊 純二

  名古屋工業大学

• 兪 国林

  名古屋工業大学

• 平野 稔

  豊田工機(株)

• 兪 国林

  名工大

• 金子 裕治

  住友特殊金属

• 児玉 一志

  フジミインコーポレテッド

• 小川 正裕

  住友金属工業(株)

• 藤田 隆

  住友金属工業(株)

• 渡邉 純二

  熊本大学工学部

• 亀井 一人

  住友金属工業(株)エレクトロニクス研

• 前羽 吉保

  住友金属工業(株)半導体装置事業部

• 小川 正裕

  住友金属工業(株) システム事業部

• 高橋 渉

  住友金属(株)中研

• 宇根 篤暢

  防衛大学

• 児玉 一志

  (株)フジミインコーポレーテッド

• 児玉 一志

  フジミインコーポレーテッド(株)

• 渡邉 純二

  熊本大学 大学院自然科学研究科

• 福井 彰

  住友金属工業(株)エレクトロニクス技術研究所

• 佐口 明彦

  住友金属(株) エレクトロニクス技術研究所

• 小川 正裕

  住友金属(株) システム事業部

• 亀井 一人

  住友金属工業(株)総合技術研究所

• 亀井 一人

  住友金属工業株式会社エレクトロニクス技術研究所

• 亀井 一人

  住友金属工業(株)総合研究センタ未来技術研究所

• 渡邉 純二

  熊本大 大学院

• 宇根 篤暢

  防衛大学校

• 高橋 渉

  住友金属(株) エレクトロニクス技術研究所

• 渡邉 純二

  熊本大学 イノベーション推進機構

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著作論文

• 超LSIプロセスにおける平坦化CMP技術と装置の開発(第2報) : パッドドレッシング均一化技術の開発
• Nd-Fe-B系永久磁石合金の水素粉砕挙動
• Nd-Fe-B系永久磁石合金の水素吸収挙動
• セリアゾル特性によるSTI研磨選択性への影響
• 原子間力顕微鏡によるSi熱酸化膜のKOH水溶液中磨耗解析
• 低圧高速条件における平坦化研磨特性
• Si熱酸化膜のCMP機構とスラリー特性
• CMP特性に及ぼす弾性アシストパッド硬度の影響
• Cu-CMP研磨メカニズムの検討
• CMP特性に及ぼすアシストパット硬度の影響

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