セリアゾル特性によるSTI研磨選択性への影響
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1999-09-01
著者
-
高橋 渉
住友金属工業株式会社未来技術研究所新材料研究部主任研究員
-
高橋 渉
住友金属工業(株)
-
高橋 渉
住友金属工業(株)未来技術研究所
-
佐口 明彦
住友金属工業(株)
-
香月 太
住友金属工業(株)総合技術研究所 企画業務部
-
高橋 渉
住友金属工業
関連論文
- 炭化物分散耐摩耗チタン合金の開発
- 超LSIプロセスにおける平坦化CMP技術と装置の開発(第2報) : パッドドレッシング均一化技術の開発
- Nd-Fe-B系磁石粉末のRIP成形挙動
- Nd-Fe-B系永久磁石合金の水素粉砕挙動
- Nd-Fe-B系永久磁石合金の水素吸収挙動
- パーライト鋼表層の組織変化とトライボロジー
- 鋼材表面における超強加工現象とトライボロジー(金属材料の組織と機械的特性に対する超強加工の効果)
- Al/アモルファス半導体系二層膜の結晶化とパターン形成
- 針の先に見えるもの! : 走査プロｰブ顕微鏡のトライボロジｰへの応用
- セリアゾル特性によるSTI研磨選択性への影響
- 原子間力顕微鏡によるSi熱酸化膜のKOH水溶液中磨耗解析
- 走査トンネル顕微鏡によるけい素鋼板の表面観察
- 457 温間加工用 Nb 添加肌焼鋼の製造条件に関する検討(棒鋼, 線材, 材料, 日本鉄鋼協会第 113 回(春季)講演大会)
- 討 23 快削鋼の冷間鍛造への適用(IV 快削鋼の現状と将来, 第 103 回講演大会討論会講演概要)
- CMP機におけるウェハ上面圧分布の計算
- 温間鍛造球状化に関する実験的検討
- 自動車用ベベルギアの温間鍛造
- 棒材の自由押出し加工限界の検討
- 自由押出し加工限界に及ぼす組織とスキンパス量の影響
- 454 平歯車の温間鍛造技術の開発(条鋼 (1)(2), その他, 加工・システム, 日本鉄鋼協会第 108 回(秋季)講演大会)
- 棒鋼の冷間押出し内部割れに及ぼす組織の影響 (小倉製鉄所開設30周年記念号)
- 低圧高速条件における平坦化研磨特性
- Si熱酸化膜のCMP機構とスラリー特性
- CMP特性に及ぼす弾性アシストパッド硬度の影響
- Cu-CMP研磨メカニズムの検討
- CMP特性に及ぼすアシストパット硬度の影響
- 異方性ラジアルリングの焼結割れ挙動
- Ti 合金の高温変形挙動の Zener-Hollomon 因子による検討
- 高耐食・高延性Ni3Si金属間化合物の開発 (新素材)
- チタンへの炭化物分散による耐摩耗性改善
- チタン合金の水ジェット***-ジョン挙動に及ぼす組織の影響
- 425 チタン合金へのPTA耐摩耗肉盛
- 耐摩耗チタン新合金によるPTA硬化肉盛法の開発 (自動車用材料特集号)
- 自動車用Ti合金の機能化開発 (新素材)
- マルエ-ジ鋼の冷間鍛造金型への適用
- 高強度複合組織鋼板の曲げ変形挙動