SiC半導体単結晶研磨面の結晶性の評価
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概要
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- 1998-09-01
著者
-
渡邉 純二
熊大院
-
江龍 修
名工大
-
江龍 修
名古屋工業大学
-
渡邉 純二
熊大工
-
中嶋 堅志郎
名工大
-
兪 国林
名工大
-
佐藤 幸介
熊大工
-
高見 信一郎
(株)フジミインコーポレーテッド
-
中嶋 堅志郎
名古屋工大工学部
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