江龍 修 | 名工大
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概要
関連著者
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江龍 修
名工大
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江龍 修
名古屋工業大学
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中嶋 堅志郎
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兪 国林
名工大
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名古屋工大工学部
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チューブシステムズ
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JAXA
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渡邉 純二
熊本大 大学院
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熊本大
著作論文
- 微小重力場における高分子の自己組織化を利用した二次元ナノテンプレート創成プロジェクトの取組
- 2724 ダイヤモンド単結晶半導体基板の紫外光照射研磨技術の研究(S33-3 材料の超精密加工とマイクロ/ナノ加工の動向(3),S33 材料の超精密加工とマイクロ/ナノ加工の動向)
- 固体触媒を用いたSiC半導体単結晶の精密加工技術の研究
- SiC 半導体単結晶のメカノケミカルポリシング技術 : Si終端面の高能率化の検討
- SiC半導体ウエハの精密加工
- SiC半導体単結晶の研磨特性
- SiC半導体単結晶研磨面の結晶性の評価