選択MOVPE法による低動作電流型LDアンプアレイ
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概要
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光交換システムなどでは光損失補償用に多チャンネルのLDアンプアレイが強く望まれている。我々はすでに選択MOVPE法を用いて偏光無依存型の4チャンネルLDアンプアレイを実現し、各チャンネルとも内部利得20dB以上(注入電流100mÅ)の良好な特性を得ている。選択MOVPE法を用いることによって、偏光無依存化に必要なサブミクロン幅で断面が正方形に近いパルク活性層をアレイ状に実現した。しかしながら多チャンネルのアレイデバイスでは消費電力低減のために低動作電流化が特に重要である。LDアンプの低動作電流化に関しては、注入電流40mÅで20dB以上の利得の得られる単体LDアンプが報告されているものの、アレイ化容易な制作方法で実現された報告例はない。今回、選択MOVPE法によって製作するLDアンプアレイの活性層サイズの最適化を行い、わずか40mÅの注入電流で内部利得24dBを有する4チャンネルの1.3μm帯LDアンプアレイが実現できたので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-26
著者
-
小松 啓郎
Nec
-
小松 啓郎
Nec Ulsiデバイス開発研究所
-
北村 昌太郎
NEC 化合物デバイス(事)
-
小松 啓郎
日本電気(株)光エレクトロニクス研究所
-
北村 昌太郎
日本電気(株)光エレクトロニクス研究所
-
北村 光弘
日本電気(株)光エレクトロニクス研究所
-
北村 光弘
Nec
-
北村 光弘
日本電気(株)
-
北村 昌太郎
日本電気(株) 光エレクトロニクス研究所
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