石英膜中に形成した位置決めマスクによるLD-導波路無調整結合
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概要
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加入者系の光化を実現する場合に, PLC (Planar Lightwave Circuit)の適用により, 光モジュールの小型化, 高機能化といった課題に大きく寄与することができる。さらに量産化, 低コスト化を実現するためには, PLCと光素子の光軸無調整結合は不可欠である。筆者等は, これまでTEOS/O3系APCVDによる光導波路の低温形成法を開発し, ファイバと導波路の高効率無調芯結合を実現した。今回, この光導波路の低温形成法により作製したPLCをLDと光導波路の無調芯結合に適用し, 評価を行なったので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-03-06
著者
-
下田 毅
NECネットワーキング研究所
-
北村 直樹
日本電気株式会社光デバイス事業部
-
北村 直樹
Nec光エレクトロニクス研究所
-
北村 光弘
NEC光エレクトロニクス研究所
-
蔵田 和彦
日本電気株式会社ナノエレクトロニクス研究所
-
下田 毅
NECシステムデバイス・基礎研究本部
-
北村 光弘
NEC光・超高周波デバイス研究所
-
下田 毅
NEC光エレクトロニクス研究所
-
木村 直樹
NEC第2伝送通信事業部
-
蔵田 和彦
NEC第2伝送通信事業部
-
北村 光弘
Nec
-
北村 光弘
日本電気 光エレクトロニクス研
-
北村 直樹
Nec 光エレクトロニクス研
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