Siブロックファイバガイド(SBF)を用いた光ファイバの石英系光導波路基板への無調整実装
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概要
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我々は、従来のSi-V溝におけるSi基板〈110〉方向とV溝形成用マスクの角度ずれによる光軸ずれを解決するものとして、光ファイバを無調整かつ高精度に実装可能なSiブロックファイバガイド(SBF)を提案し検討を行ってきた。今回、新たに石英系光導波路をSBFと同一のSi基板上に一体形成し、シングルモード光ファイバ(SMF)を無調整実装により光導波路と結合させた結果、良好な結合特性が得られたので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-11
著者
-
北村 直樹
日本電気株式会社光デバイス事業部
-
水田 聡
NEC 光エレクトロニクス研究所
-
北村 光弘
NEC 光エレクトロニクス研究所
-
水田 聡
NEC光エレクトロニクス研究所
-
水田 聡
NEC伝送デバイス事業部
-
北村 直樹
NEC 光エレクトロニクス研究所
-
北村 光弘
Nec
-
北村 直樹
Nec 光エレクトロニクス研
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