光ファイバの無調整・高精度実装用 細分化Si-V溝の検討(II) : 試作
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概要
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我々はSi基板上の光導波路や光素子と結合する光ファイバを無調整で高精度実装できる細分化Si-V溝を提案、並びに解析し、その実現性を示した。今回、本構造の具現化の検討を行い、高精度実装が行える良好なV溝形状を得たので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-05
著者
-
北村 直樹
日本電気株式会社光デバイス事業部
-
北村 直樹
Nec光エレクトロニクス研究所
-
西本 裕
日本電気(株)光エレクトロニクス研究所
-
水田 聡
NEC 光エレクトロニクス研究所
-
水田 聡
NEC光エレクトロニクス研究所
-
水田 聡
NEC伝送デバイス事業部
-
北村 直樹
NEC 光エレクトロニクス研究所
-
西本 裕
NEC 光エレクトロニクス研究所
-
北村 直樹
Nec 光エレクトロニクス研
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