石英系光導波路における紫外光誘起屈折率変化

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概要

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近年, 光ファイバ, 石英系光導波路デバイスにおいて紫外光誘起屈折率変化の研究が盛んになっており, そのファイバグレーディング, 導波路グレーティング等への応用が検討されている。これまで, 高圧水素処理, 火炎による還元処理等を適用することにより比較的大きい(〜10^<-3>)屈折率変化が得られることが報告されている。今回, 照射光源としてArF (193 nm)エキシマレーザを用い, TEOS-O_3常温化学気相堆積法(AP-CVD)を用いて作製した石英系光導波路型マッハツェンダ干渉計を用い, その干渉中心波長の変化を評価することにより光誘起屈折率変化を測定した結果, 比較的大きい屈折率変化を得たので報告する。また, 偏光依存性を測定した結果, 非常に小さいことが確認でき, 干渉デバイスにおける偏光無依存での波長トリミングが可能であることがわかった。
1997-03-06

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