MOVPE選択成長を用いた多波長レーザアレイ
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概要
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波長多重(WDM)通信用の光源としては、波長を一定間隔で厳密に制限することが特に重要である。現在は所望の発振波長を有する単体素子を複数個使用するのが一般的であるが、モジュール化に要するコスト等を考えればモノリシックに集積されたアレイ光源が望ましく、さらにアレイ光源が合波されていればファイバとの接続点が少なくてすむという利点も生じる。我々はバンドギャップエネルギー(Eg)の異なる複数の領域を1回の結晶成長で形成でき、光集積素子の製作方法として優れるMOVPE選択成長法を提案し、DFBレーザ/光変調集積化光源や波長可変DBRレーザを実現してきた。今回、この方法を用いて10波長のMQW-DBRレーザアレイを作製したので報告する。また4波アレイに合波器を集積した素子についても初期試作を行ったので、その結果についても述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-26
著者
-
山口 昌幸
NEC光エレクトロニクス研究所
-
佐々木 達也
Necシステムデバイス研究所
-
北村 光弘
NEC光エレクトロニクス研究所
-
佐々木 達也
NEC光エレクトロニクス研究所
-
山口 昌幸
NEC化合物デバイス事業部
-
石坂 政茂
NECナノエレクトロニクス研究所
-
石坂 政茂
NEC光エレクトロニクス研究所
-
北村 光弘
Nec
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