MOVPE選択成長を用いたInP系8×8スターカップラ
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概要
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スターカップラは大規模な光ネットワーク構築における重要なデバイスであり、近年注目を集めているアレイ導波路回折格子型波長制御デバイスの重要な構成要素でもある。特に半導体をベースとしたスターカップラは他の半導体光素子とのモノリシック集積化が可能であり、種々の機能デバイスの実現が期待される。我々は、導波路の低損失化および光集積素子の一括形成が可能なMOVPE選択成長技術を用いてInP系8×8スターカップラを試作し、平均過剰損失1.1dB、標準偏差1.2dBと良好な特性を得たので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-09-18
著者
-
畠山 大
NECシステムデバイス研究所
-
小松 啓郎
Nec
-
佐々木 達也
Necシステムデバイス研究所
-
佐々木 達也
日本電気(株)システムデバイス・基礎研究本部
-
小松 啓郎
Nec Ulsiデバイス開発研究所
-
畠山 大
日本電気(株)光・超高周波デバイス研究所
-
小松 啓郎
日本電気(株)光エレクトロニクス研究所
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