MOVPE選択成長による偏光無依存型1.3μm帯LDアンプアレイ
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概要
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光導体光増幅器(LDアンプ)をアレイ状に配したLDアンプアレイは、光交換システムにおいて、多チャンネル並列伝送系の光損失補償用に強く望まれている。このような用途においては、LDアンプの利得が偏光無依存であることが要望される。利得を偏光無依存化する1つの構造として、断面の幅、厚さともに5000Å程度以下のバルク活性層を用いた構造が有力である。しかしながら、半導体のエッチングを用いる従来の製作方法により、活性層を5000Åと狭くかつ均一に形成するのは困難である。今回、半導体のエッチングを用いないMOVPEの選択成長法により、幅の狭い活性層を均一に形成し、1.3μm帯LDアンプアレイを実現した。4chのアレイにおいて、各LDアンプとも内部利得20dB以上、偏光依存性1dB以下の良好な特性を得た。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-08-26
著者
-
小松 啓郎
Nec
-
北村 光弘
NEC光エレクトロニクス研究所
-
小松 啓郎
NEC光エレクトロニクス研究所
-
小松 啓郎
Nec Ulsiデバイス開発研究所
-
北村 昌太郎
NEC 化合物デバイス(事)
-
北村 昌太郎
NEC光エレクトロニクス研究所
-
北村 光弘
Nec
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